Cảm biến độ dày phân giải nanomet Micro epsilon VietNam, LTD đại lý Micro epsilon

Cảm biến độ dày phân giải nanomet Micro epsilon VietNam, LTD đại lý Micro epsilon

Máy đo giao thoa ánh sáng trắng có độ chính xác cao để đo khoảng cách và độ dày không tiếp xúc
Các giao thoa kế ánh sáng trắng cải tiến từ Micro-Epsilon đã thiết lập một chuẩn mực trong các phép đo khoảng cách và độ dày có độ chính xác cao. Các cảm biến này cho phép kết quả đo ổn định với độ phân giải dưới nanomet, cung cấp phạm vi đo và khoảng cách bù tương đối lớn. Các giao thoa kế có sẵn trong 4 dòng: IMS5400-DS để đo khoảng cách công nghiệp có độ chính xác cao, IMS5400-TH để đo độ dày chính xác và IMS5600-DS phù hợp với chân không để đo khoảng cách với độ phân giải picometer. IMS5420-TH được sử dụng để đo độ dày wafer.

Giao thoa kế cho công nghiệp và tự động hóa
Giao thoa kế ánh sáng trắng công nghiệp bao gồm một cảm biến mạnh mẽ, một cáp cảm biến cực kỳ linh hoạt và một bộ điều khiển trong vỏ nhôm có thể gắn trên thanh ray DIN. Bộ điều khiển có bộ điều khiển nhiệt độ chủ động, bù cho những thay đổi về nhiệt độ môi trường và do đó đạt được độ ổn định nhiệt độ cực cao. Nhờ thiết kế mạnh mẽ, giao thoa kế cũng có thể được tích hợp trong môi trường công nghiệp. Chiều dài cáp lên đến 10 m cũng cho phép tách biệt không gian giữa cảm biến và bộ điều khiển. Đối với các nhiệm vụ đo lường trong phòng sạch và trong chân không, các cảm biến, cáp và phụ kiện luồn cáp phù hợp với chân không đều có sẵn.

Độ phân giải z cực cao và điểm sáng nhỏ cho phép đo các chi tiết và cấu trúc nhỏ nhất
Cảm biến giao thoa kế cho phép độ phân giải dưới nanomet. Ngoài ra, chúng tạo ra một điểm sáng 10 µm trên toàn bộ phạm vi đo. Điều này cho phép đo các chi tiết nhỏ như cấu trúc trên chất bán dẫn và các thành phần điện tử thu nhỏ. Điểm sáng được hình dung bằng tia laser dẫn hướng và tạo điều kiện cho việc căn chỉnh cảm biến.

Các cảm biến mới với nhiều thiết kế và đặc tính khác nhau có sẵn để tích hợp trong các môi trường đòi hỏi khắt khe. Nhờ đường truyền chùm tia 90°, cả IMP-DS0.5/90/VAC và IMP-DS10/90/VAC đều có thể được lắp đặt trong không gian lắp đặt thấp. Cảm biến thu nhỏ IMP-DS1/VAC mới là một trong những cảm biến quang nhỏ nhất của Micro-Epsilon. Với đường kính 4 mm và cáp tích hợp, cảm biến cũng có thể được sử dụng trong không gian lắp đặt cực kỳ hạn chế. Cảm biến và cáp có thể được sử dụng trong cả phòng sạch và chân không.

Hình ảnh hóa vị trí đo bằng tia laser dẫn đường
Tia laser dẫn đường được cấp bằng sáng chế giúp định vị cảm biến dễ dàng
Máy đo giao thoa ánh sáng trắng sử dụng ánh sáng hồng ngoại trong phạm vi không nhìn thấy được (bước sóng khoảng 840 nm), nghĩa là không thể nhìn thấy vị trí đo. Để hình dung vị trí đo, hệ thống Micro-Epsilon được trang bị một tia laser dẫn hướng chiếu một điểm sáng vào vị trí đo. Ngoài ra, tia laser dẫn hướng sử dụng một phương pháp được cấp bằng sáng chế để cung cấp phản hồi về khoảng cách ngoài vị trí đo. Nếu đối tượng đo ở đúng khoảng cách và nằm trong phạm vi đo, tia laser dẫn hướng sẽ phát ra ánh sáng liên tục. Nếu đối tượng đo nằm ngoài phạm vi đo, tia laser dẫn hướng sẽ nhấp nháy.