Cảm biến khoảng cách với độ chính xác nanomet IMS5600-DS Micro epsilon VietNam, LTD đại lý Micro epsilon

0914 237 179

Cảm biến khoảng cách với độ chính xác nanomet IMS5600-DS Micro epsilon VietNam, LTD đại lý Micro epsilon

  • 169
  • Liên hệ

LTD Automation tự hào là đại lý phân phối cung cấp sản phẩm Cảm biến khoảng cách với độ chính xác nanomet IMS5600-DS hãng Micro epsilon uy tín tại Việt Nam

==>Tại sao chọn mua Cảm biến khoảng cách với độ chính xác nanomet IMS5600-DS hãng Micro epsilon tại LTD Automation:

- Sản phẩm chính hãng 100%

- LTD có hậu mãi chăm sóc khách hàng tốt nhất

- Sản phẩm cam kết được bảo tối thiểu 12 tháng

- Nhiều dịch vụ hậu mãi khác

Tư vấn 24/7:

Cảm biến khoảng cách với độ chính xác nanomet IMS5600-DS Micro epsilon VietNam, LTD đại lý Micro epsilon

Máy đo giao thoa ánh sáng trắng để đo khoảng cách tuyệt đối với độ phân giải dưới nanomet
Giao thoa kế ánh sáng trắng mới IMS5600-DS được sử dụng để đo khoảng cách với độ chính xác cao nhất. Bộ điều khiển cung cấp hiệu chuẩn đặc biệt với đánh giá thông minh và cho phép đo tuyệt đối với độ phân giải dưới nanomet. Giao thoa kế được sử dụng cho các nhiệm vụ đo lường với yêu cầu độ chính xác cao nhất, ví dụ như trong sản xuất điện tử và chất bán dẫn.

Đặc trưng

  • Đo khoảng cách với độ chính xác dưới nanomet
  • Tốt nhất trong lớp: Độ phân giải 30 picomet
  • Đo lường tuyệt đối, phù hợp với các cấu hình bước
  • Cảm biến nhỏ gọn và mạnh mẽ với khoảng cách bù lớn
  • Tốc độ đo lên đến 6 kHz cho phép đo tốc độ cao
  • Cấu hình dễ dàng thông qua giao diện web
  • Cảm biến và cáp phù hợp cho chân không
  • Cảm biến nhỏ gọn cũng có đường dẫn chùm tia 90°

Đo khoảng cách tuyệt đối với phạm vi đo lớn và khoảng cách bù trừ
IMS5600-DS được sử dụng để đo độ dịch chuyển và khoảng cách có độ chính xác cao. Hệ thống cung cấp các giá trị đo tuyệt đối và do đó cũng có thể được sử dụng để đo khoảng cách của các cấu hình bước. Nhờ phép đo tuyệt đối, các bước được lấy mẫu với độ ổn định tín hiệu cao. Khi đo trên các vật thể chuyển động, sự khác biệt về chiều cao của gót chân, bậc thang và độ lõm do đó có thể được phát hiện một cách đáng tin cậy. Hệ thống đo cung cấp độ phân giải dưới nanomet với khoảng cách bù lớn so với phạm vi đo.

Đo khoảng cách đa đỉnh
Với phép đo khoảng cách đa đỉnh trên các vật thể trong suốt, có thể đánh giá đồng thời tới 14 giá trị khoảng cách. Ví dụ, có thể xác định khoảng cách giữa kính và tấm mang. Sau đó, bộ điều khiển có thể tính toán độ dày của kính từ các giá trị khoảng cách

Nhiều mô hình cho các nhiệm vụ đo lường đòi hỏi khắt khe

Người mẫu Phạm vi đo /
Bắt đầu phạm vi đo
Tính tuyến tính Số lượng lớp có thể đo được Các lĩnh vực ứng dụng
IMS5600-DS0,5/90/VAC 1,5 mm /khoảng 0,5 mm ±10nm - Đo khoảng cách có độ chính xác cao trong môi trường phòng sạch và chân không, ví dụ đo trên các tấm wafer phủ.
Biến thể UHV titan không từ tính cho phép sử dụng trong từ trường mạnh, ví dụ trong công nghệ y tế (kính hiển vi chùm tia điện tử hoặc quay hạt nhân)
IMS5600-DS10/90/VAC 1,5mm / 10mm
IMS5600-DS19 2,1 mm / khoảng 19 mm ±10nm - Đo khoảng cách có độ chính xác cao trong các quy trình công nghiệp ví dụ như trong sản xuất chính xác
IMS5600-DS19/VAC Nhiệm vụ định vị chính xác và đo khoảng cách trong môi trường phòng sạch và chân không, ví dụ như trong sản xuất màn hình để định vị mặt nạ
IMS5600MP-DS19 Đo khoảng cách:
2,1 mm / xấp xỉ 19 mm
Đo độ dày:
0,01 ... 1,3 mm (đối với BK7, n = 1,5) / xấp xỉ 19 mm
±10 nm cho khoảng cách đầu tiên
±100 nm cho mỗi khoảng cách tiếp theo
Lên đến 13 lớp Đo khoảng cách và độ dày có độ chính xác cao trong các quy trình công nghiệp, ví dụ như trong sản xuất chất bán dẫn để xác định độ dày lớp trên tấm wafer hoặc trong sản xuất đèn LED
IMS5600MP-DS19/VAC Đo khoảng cách và độ dày có độ chính xác cao trong môi trường phòng sạch và chân không, ví dụ như trong sản xuất chất bán dẫn để đo vị trí và kích thước khe hở trên mặt nạ và tấm wafer

 

sản phẩm liên quan
Zalo
Hotline