capaNCDT TFG6220 Micro epsilon VietNam, cảm biến điện dung capaNCDT TFG6220 Micro epsilon, LTD đại lý Micro epsilon tại Việt Nam

capaNCDT TFG6220 Micro epsilon VietNam, cảm biến điện dung capaNCDT TFG6220 Micro epsilon, LTD đại lý Micro epsilon tại Việt Nam

Đo độ dày chính xác cao của màng dẫn điện
Hệ thống TFG6220 điện dung đo độ dày của màng dẫn điện, ví dụ như màng pin, với độ chính xác tối đa. Một thiết bị chân không hút vật thể cần đo vào, làm phẳng vật thể và do đó đảm bảo vật thể được định vị tối ưu mà không bị nhăn. Theo cách này, phép đo có thể được thực hiện với độ chính xác cao nhất có thể. Hệ thống được sử dụng cho các mẫu ngẫu nhiên ngoại tuyến trong quá trình kiểm tra chất lượng. Cuối cùng nhưng không kém phần quan trọng, TFG6220 được lắp ráp sẵn để vận hành và cho phép khởi động nhanh chóng.

Đặc trưng
Kiểm tra nhanh ngoại tuyến độ dày màng
Độ phân giải: 10 nm
Độ lặp lại cao: 1 µm
Độ dày màng có thể: < 1 mm
Tự động làm mịn màng phim bằng chân không đảm bảo kết quả có độ chính xác cao
Tích hợp chèn đo để tham khảo đơn giản trước khi đo độ dày
Vận hành/trực quan hóa dễ dàng thông qua phần mềm sensorTOOL có thể truy cập miễn phí

Kiểm tra chính xác để có chất lượng đáng tin cậy
TFG6220 bao gồm một giá đỡ đo bao gồm các cảm biến và một bộ điều khiển capaNCDT. Nó tính toán độ dày bằng cách đánh giá các phép đo của hai cảm biến điện dung. Một thiết bị chân không bên ngoài tự động làm mịn vật thể đo. Đây là cách đạt được kết quả chính xác đến từng micron.

Nguyên lý đo lường capaNCDT TFG6220
Cảm biến điện dung được lắp cố định (1) ở phía trên đo khoảng cách từ vật thể đo (2). Miếng chèn đo (3) hoạt động như một bề mặt tham chiếu mà qua đó vật thể cần đo được hút vào và kéo căng bằng chân không. Cảm biến điện dung ở phía dưới (4) đo vào miếng chèn đo và bù cho độ lệch cơ học của bề mặt tiếp xúc.