Đầu dò oxy chống chân không công nghệ PVD hoặc Magnetron ZIROX GmbH Viet Nam

Vacuum‑Resistant Oxygen Probe for PVD or Magnetron Sputtering của ZIROX là đầu dò oxy kiểu zirconia được thiết kế để đo nồng độ oxy hoặc áp suất riêng phần oxy trong môi trường áp suất thấp hoặc chân không. Thiết bị sử dụng tế bào điện cực rắn (zirconia solid electrolyte) và công nghệ đo theo nguyên lý điện thế (potentiometric) để xác định oxy trong các quá trình như mạ chân không, phún xạ magnetron, plasma hoặc xử lý bề mặt.

Ứng dụng

• Đo áp suất riêng phần oxy trong thiết bị chân không hoặc chế tạo chân không: như các công nghệ PVD, CVD, phún xạ magnetron.

• Giám sát hoặc kiểm soát khí trong quá trình xử lý bề mặt vật liệu, màng mỏng, kim loại, thủy tinh.

• Ứng dụng trong nghiên cứu vật liệu và thiết bị nơi cần đo oxy ở áp suất rất thấp hoặc môi trường chân không.

• Tích hợp vào hệ thống chân không công nghiệp, thiết bị mạ phủ hoặc xử lý plasma để đảm bảo môi trường oxy được kiểm soát chính xác.

Điểm mạnh & tiêu chuẩn kỹ thuật nổi bật

• Thiết bị sử dụng cell zirconia (oxy‑ion conductor) theo nguyên lý Nernst, cho phép đo trong dải áp suất oxy rất thấp, từ khoảng 1 × 10⁵ Pa đến 1 × 10⁻²¹ Pa.

• Kích thước đầu dò nhỏ gọn (đường kính ~6 mm, dài 140–300 mm) giúp lắp đặt vào khu vực chân không dễ dàng.

• Có bộ gia nhiệt bên trong probe (sensor working temperature ~700 °C) để đảm bảo hoạt động ổn định trong môi trường chân không.

• Có tín hiệu đầu ra công nghiệp: ví dụ output 0‑20 mA, hoặc tín hiệu tương đương 0…400 mV hoặc 0…1200 mV theo lựa chọn.

• Thiết kế cho môi trường chân không với flange KF40 (hoặc tùy chọn khác), và độ rò rỉ helium tối thiểu (< 10⁻⁸ mbar l/s) – đảm bảo tiêu chuẩn chân không cao.

• Độ chính xác tốt: sai số tương đối < 5% đối với đo oxy phần trong điều kiện cho phép.

• Giao tiếp chế độ công nghiệp, điện áp cấp 24 V DC, đảm bảo tích hợp dễ dàng với hệ thống điều khiển và PLC/SCADA.

Bảng so sánh các model tiêu biểu của dòng sản phẩm này

Dưới đây là bảng tóm tắt các model hoặc dòng liên quan mà ZIROX cung cấp trong mục “Probes – O2‑Probes for vacuum processes” để quý công ty tham khảo:

Lưu ý: Các model cụ thể hơn (ví dụ mã MS27, SS27, XS22.51H‑140) cũng nằm trong danh mục đa dạng của ZIROX, và nên chọn theo điều kiện áp suất, nhiệt độ và môi trường sử dụng.

Tại sao bạn nên mua ZIROX GmbH từ LTD?

* Sản phẩm chính hãng, chất lượng đảm bảo.
* Hỗ trợ kỹ thuật chuyên nghiệp và tận tâm.
* Giá cả cạnh tranh, dịch vụ hậu mãi chu đáo.
* Cung cấp giải pháp toàn diện cho hệ thống máy biến áp của bạn.

LTD Automation là đại lý phân phối ZIROX tại Việt Nam, nếu cần tư vấn báo giá liên hệ ngay với chúng tôi ngay để được tư vấn và hỗ trợ:

Mr. Tri - 0912 300 549

- sale02@ltdautomation.com.vn