Giải pháp đo oxi và giám sát độ tinh khiết của khí nitơ argon SGM5 SGM7 ZIROX GmbH Viet Nam

0912 300 549

Giải pháp đo oxi và giám sát độ tinh khiết của khí nitơ argon SGM5 SGM7 ZIROX GmbH Viet Nam

  • 25
  • Liên hệ

LTD Automation là đại lý phân phối ZIROX tại Việt Nam
==> Lý do nên chọn mua ZIROX tại LTD Automation: 
- Uy tín tạo nên thương hiệu
- Sản phẩm chính hãng 100% 
- Hỗ trợ chính sách hậu mãi toàn diện
- Sản phẩm được bảo hành ít nhất 12 tháng.
Liên hệ tư vấn:
- 0912 300 549
- sale02@ltdautomation.com.vn

ZIROX GmbH chuyên sản xuất thiết bị đo oxy và hệ thống phân tích khí sử dụng công nghệ điện cực rắn (zirconia-based). Dòng sản phẩm dành cho ngành semi-conductor (bán dẫn) giúp kiểm soát nhanh vết oxy và giám sát độ tinh khiết của khí bảo vệ như nitơ, argon trong quy trình sản xuất chip và các quá trình chân không.


Ứng dụng chính

  • Giám sát độ tinh khiết của khí bảo vệ (nitrogen, argon) trong sản xuất bán dẫn — đảm bảo môi trường không oxy hoặc oxy cực thấp.

  • Đo oxy trong các quá trình PVD (Physical Vapor Deposition), sputtering, plasma hoặc chân không — dùng cho chế tạo màng mỏng, bán dẫn, tấm wafer.

  • Kiểm soát và phân tích rò oxy hay phản ứng oxy-trao đổi trên các vật liệu trong quy trình sản xuất vi mạch — giúp nâng cao chất lượng và độ ổn định sản phẩm.


Điểm mạnh & tiêu chuẩn kỹ thuật nổi bật

  • Công nghệ cell điện cực rắn (yttria-stabilized zirconia) cho phép đo vết oxy nhanh và ổn định lâu dài mà không cần tham chiếu không khí.

  • Độ nhạy cao với oxy ở mức rất thấp — phù hợp yêu cầu cực kỳ nghiêm ngặt của ngành bán dẫn.

  • Thiết kế chuyên dụng cho môi trường chân không và khí bảo vệ, với khả năng thích ứng trong các bộ chân không hoặc buồng PVD / sputtering.

  • Dòng sản phẩm có thể tùy biến theo yêu cầu khách hàng — phù hợp các hệ thống tích hợp trong dây chuyền sản xuất bán dẫn.

  • Chất lượng công nghiệp cao, vật liệu và linh kiện chọn lọc đảm bảo vận hành ổn định và tuổi thọ lâu trong môi trường sản xuất với điều kiện khắc nghiệt.


Bảng so sánh các dòng sản phẩm ZIROX cho ngành bán dẫn

Dòng sản phẩm Chức năng chính Ghi chú nổi bật
Oxygen Analyzer SGM5 Phân tích nhanh vết oxy trong khí bảo vệ Dòng chuyên sâu cho yêu cầu rất thấp về oxy, tốc độ phản hồi nhanh.
Oxygen Analyzer SGM7 Phân tích oxy và giám sát độ tinh khiết khí Dòng nâng cấp, tích hợp thêm chức năng giám sát khí sản xuất.
Oxygen Measuring Module ZR5 Module đo oxy tích hợp cho hệ thống tự động Dễ tích hợp vào hệ thống sản xuất tự động hoặc dây chuyền bán dẫn.
Vacuum-Resistant O₂-Probe (for PVD / Magnetron Sputtering) Đầu dò oxy chịu chân không dùng cho PVD/sputtering Dòng probe chuyên biệt cho môi trường chân không và màng mỏng.
Miniature Probes / High Temperature Probes Đầu dò nhỏ gọn hoặc chịu nhiệt cao dùng trong các ứng dụng đặc thù Dành cho ứng dụng vừa không gian nhỏ, vừa điều kiện nhiệt/áp suất cao.

 

Tại sao bạn nên mua ZIROX GmbH từ LTD?

* Sản phẩm chính hãng, chất lượng đảm bảo.
* Hỗ trợ kỹ thuật chuyên nghiệp và tận tâm.
* Giá cả cạnh tranh, dịch vụ hậu mãi chu đáo.
* Cung cấp giải pháp toàn diện cho hệ thống máy biến áp của bạn.

LTD Automation là đại lý phân phối ZIROX tại Việt Nam, nếu cần tư vấn báo giá liên hệ ngay với chúng tôi ngay để được tư vấn và hỗ trợ:

Mr. Tri - 0912 300 549

- sale02@ltdautomation.com.vn

sản phẩm liên quan
Zalo
Hotline